ASML, 로봇 ASML 로봇 설명 : 반도체 웨이퍼 반송 로봇은 반도체 제조 장치 내에서 웨이퍼 등의 반송 용도로 사용됩니다. MK3 DFA TSU Aligner Open X-Beam Load port (UP Type) Balance Mass Encoder Drift Motor Load port (Down Type) CCU MK3 35XT Scara MK3 Arm Chuck Park Lock MK3 Scara TSU Motor 전체 이름 (*) 이메일 주소 (*) 회사명 전화번호 문의내용 (*) (*) 은 필수 항목입니다. Δ
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