ASYST (MECS)

로봇

설명 : 반도체 웨이퍼 반송 로봇은 반도체 제조 장치 내에서 웨이퍼 등의 반송 용도로 사용됩니다.

APR800
UTC801P Controller
UTX-F5500C-006A
UTC1000
UTX1000 Series
UTX-F5500C-006B
UTC820Z
UTW3400
UTX-F5500M
UTC800
UTW3100P
Aligner OF250
UTC801P
OF250 Controller
Aligner OFH100
UTC800 Controller