CANON

로봇

설명 : 반도체 웨이퍼 반송 로봇은 반도체 제조 장치 내에서 웨이퍼 등의 반송 용도로 사용됩니다.

ES3L
ES3-Z
RETICLE ROBOT
ES4R
PA STAGE UNIT
TYPE X (WAFER THERMAL CONTROL)
ES3-X 
RELAY UNIT
WAFER FEED HAND UNIT