LAM

로봇

설명 : 반도체 웨이퍼 반송 로봇은 반도체 제조 장치 내에서 웨이퍼 등의 반송 용도로 사용됩니다.

Indexer
Vortex Traverser
EOS BE Robot
Vortex
Servo Spindle Assy
EOS BE Controller
Vortex Wet
Lift Module
EOS EFEM Robot
TEBR
MACH 1
EOS EFEM Controller
Vortex Dual Arm Robot
MACH 4
Gammar Controller
Vortex Extreme ATM Robot
MACH 1 Controller
LTM Type 2
Vortex Robot controller
MACH 4 Controller