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Category Archives: 로봇

반도체 웨이퍼 반송 로봇은 반도체 제조 장치 내에서 웨이퍼 등의 반송 용도로 사용됩니다.

상품명
AC 서보 모터운전사

MITSUBISHI
PANASONIC
YASKAWA

PCB 보드

PCB 보드

RF 매칭 박스

ADTEC
AE
AMAT
ASTECH
DAIHEN
KYOSAN
LAM
MKS/ENI
PEARL KOGYO
TRAZAR

RF 전원 공급 장치

ADTEC
AE
AE(RFPP)
ASTEX
COMDEL
DAIHEN
KYOSAN
MKS(ENI)
PEARL KOGYO
SEREN
ULVAC

터보 분자 펌프 펌프 컨트롤러

ALCATEL
EBARA
EDWARDS
LEYBOLD
MITSUBISHI
PFEIFFER
SHIMADZU

판막 밸브 컨트롤러

AMAT
MILLIPORE
MKS
SMC
TYLAN
VAT

로봇

BROOKS-PRI ROBOT
BROOKS
KENSINGTON
YASKAWA
AMAT
LAM
RORZE
GENMARK
NIDEC(SANKYO)
ASML
TAZMO
HIRATA
AITEC
SEMITOOL
JEL
ASYST (MECS)
DAIHEN
CANON

질량유량 컨트롤러

AERA
BROOKS
MKS
TYLAN
HORIBA
UNIT

CANON

DAIHEN

ASYST (MECS)

JEL

SEMITOOL

AITEC

HIRATA

TAZMO

ASML

NIDEC (SANKYO)

GENMARK

RORZE

LAM

AMAT

YASKAWA

KENSINGTON

BROOKS

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