BROOKS, 로봇

BROOKS

로봇

설명 : 반도체 웨이퍼 반송 로봇은 반도체 제조 장치 내에서 웨이퍼 등의 반송 용도로 사용됩니다.

ATR-8_NVLS	Traverser 002-8761-05	MAG70 Arm set 4300
ATR-8_LAM	MTR5	MAG70 Arm set 5500
ATR-7_NVLS	MTR5 Arm Set	MAG74
ATR-7_Arm set	MAG-7	MAG74 Arm set
AQR-7	MAG7 E4	TBM
AQR-7_Arm Set	MAG-8	Razor
Pre-Aligner 7391	MAG70