BROOKS, 机器人

BROOKS

机器人

描述：半导体晶圆传送机器人用于在半导体制造设备内传送晶圆等。

ATR-8_NVLS	Traverser 002-8761-05	MAG70 Arm set 4300
ATR-8_LAM	MTR5	MAG70 Arm set 5500
ATR-7_NVLS	MTR5 Arm Set	MAG74
ATR-7_Arm set	MAG-7	MAG74 Arm set
AQR-7	MAG7 E4	TBM
AQR-7_Arm Set	MAG-8	Razor
Pre-Aligner 7391	MAG70