机器人
描述：半导体晶圆传送机器人用于在半导体制造设备内传送晶圆等。
Indexer
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Vortex Traverser
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EOS BE Robot
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Vortex
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Servo Spindle Assy
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EOS BE Controller
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Vortex Wet
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Lift Module
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EOS EFEM Robot
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TEBR
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MACH 1
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EOS EFEM Controller
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Vortex Dual Arm Robot
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MACH 4
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Gammar Controller
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Vortex Extreme ATM Robot
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MACH 1 Controller
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LTM Type 2
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Vortex Robot controller
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MACH 4 Controller
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