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カテゴリーアーカイブ: ターボ分子ポンプ ・ ポンプコントローラー

ターボ分子ポンプは、高速で回転するインペラーを用いて気体分子に運動量を与え、気体の流れに方向性を持たせた真空ポンプです。

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