CANON

ロボット

説明: 半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途として使用されます。

ES3L
ES3-Z
RETICLE ROBOT
ES4R
PA STAGE UNIT
TYPE X (WAFER THERMAL CONTROL)
ES3-X 
RELAY UNIT
WAFER FEED HAND UNIT