BROOKS、マスフローコントローラー

BROOKS

マスフローコントローラー

説明: マスフローコントローラとは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである.

0550 Series	5964 Series	SLA 6800 Series
5800S Series	6256 Series	SLA 7800 Series
5850 Series	SLA 4800 Series	SLA 7900 Series
5860 Series	SLA 5800 Series