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RF 電源（高周波電源)

説明：RF電源とは、RF領域（约3KHz～300GHz）において一定の電力で一定の周波数の正弦波電圧を発生させることができる電源のことです。半導体製造、液晶製造装置などでよく使用されている。

HR5001	L301	R2001
I2000	L601	R3001