BROOKS PRI ROBOT、ロボット

BROOKS PRI ROBOT

ロボット

説明: 半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途として使用されます。

ATM-105	ATM-407	PRE-300B
ATM-107	ABM-407	PRE-301
ATM-107B	ABM-407B	PRE-301B
WTM-107B	VAC-407-2A	ESC-100
WTM-107EGW	DBM-2406	EDC-2400
ATM-204	DBM-2407	EDC-2800
ATM-205	DBM-2706	ESC-200
ABM-205	WTM-511	ESC-201
ATM-207	PRE-200	ESC-204
ATM-305	PRE-200B	ESC-212
ATM-307	PRE-201	ESC-218
ATM-405	PRE-201B	ESC-222
ABM-405	PRE-300