UNIT、マスフローコントローラー

UNIT

マスフローコントローラー

説明: マスフローコントローラとは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである.

UFC-1000 Series	UFC-3160 Series	GF Series
UFC-1100 Series	UFC-3165 D-Net	UPC-1300
UFC-1160/1161 Series	UFC-2550/3550 SDS Series	UPC-1360
UFC-1200 Series	UFC-7300 Series	UPC-8130
UFC-1260/1261 Series	UFC-8100 Series	UTS-1100
UFC-1400 Series	UFC-8160/8161 Series	UTS-2000
UFC-1500 Series	UFC-8165 D-Net	UTS-3000
UFC-1660/1661 Series	UFC-8200 Series	URS-20
UFC-1662 SDS Series	UFC-8500 Series	URS-40
UFC-1665 D-Net	UFC-9150 Series	URS-100
UFC-2000 Series	IFC-125 Series	URS-100-5
UFC-3000 Series