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ASYST (MECS)、ロボット

ASYST (MECS)

ロボット

説明: 半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途として使用されます。

APR800
UTC801P Controller
UTX-F5500C-006A
UTC1000
UTX1000 Series
UTX-F5500C-006B
UTC820Z
UTW3400
UTX-F5500M
UTC800
UTW3100P
Aligner OF250
UTC801P
OF250 Controller
Aligner OFH100
UTC800 Controller