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ASML、ロボット

ASML

ロボット

説明: 半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途として使用されます。

MK3 DFA
TSU Aligner
Open X-Beam
Load port (UP Type)
Balance Mass Encoder 
Drift Motor
Load port (Down Type)
CCU
MK3 35XT Scara
MK3 Arm
Chuck Park Lock
MK3 Scara
TSU Motor