RF電源とは、RF領域（约3KHz～300GHz）において一定の電力で一定の周波数の正弦波電圧を発生させることができる電源のことです。

半導体製造装置にRF信号を効率的に伝送するための整合器です。主に半導体製造工場で使用されています。

バルブは、流体媒体の流れ、流れ方向、圧力、温度などを制御する機械的な装置です。真空バルブは、真空チャンバー内に設置される真空部品で、バルブの一種です。

基板（ボード）
弊社は各種ボードを修理・テスト・販売可能です。

ターボ分子ポンプは、高速で回転するインペラーを用いて気体分子に運動量を与え、気体の流れに方向性を持たせた真空ポンプです。

サーボモータは、サーボ機構に使用されるモータで、非常に正確な位置精度で速度を制御することができ、電圧信号をトルクと速度に変換して被制御体を駆動することができます。

半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途として使用されます。

マスフローコントローラとは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである.