RF 電源(高周波電源)
説明:RF電源とは、RF領域(约3KHz~300GHz)において一定の電力で一定の周波数の正弦波電圧を発生させることができる電源のことです。半導体製造、液晶製造装置などでよく使用されている。
AX-1000
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AX-1000Ⅲ
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AX-100MF-P
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AX-30000PE1
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AX-1000 II-ASM
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AX-1000AMⅡ
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AX-2000
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AX-3000MF III-2M
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AX-1000Ⅱ
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AX-1000LFⅡ
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AX-2000Ⅱ
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AX-600Ⅲ
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AX-1000Ⅱ/ENI
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AX-100MF-D
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AX-2000EUⅡ
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