LAM

ロボット

説明: 半導体ウエハ搬送ロボットは、半導体製造装置内でウエハなどの搬送用途として使用されます。

Indexer
Vortex Traverser
EOS BE Robot
Vortex
Servo Spindle Assy
EOS BE Controller
Vortex Wet
Lift Module
EOS EFEM Robot
TEBR
MACH 1
EOS EFEM Controller
Vortex Dual Arm Robot
MACH 4
Gammar Controller
Vortex Extreme ATM Robot
MACH 1 Controller
LTM Type 2
Vortex Robot controller
MACH 4 Controller