ASML, 机器人 ASML 机器人 描述：半导体晶圆传送机器人用于在半导体制造设备内传送晶圆等。 MK3 DFA TSU Aligner Open X-Beam Load port (UP Type) Balance Mass Encoder Drift Motor Load port (Down Type) CCU MK3 35XT Scara MK3 Arm Chuck Park Lock MK3 Scara TSU Motor 全名 (*) 邮件 (*) 公司名称 公司名称 电话号码 (*) (*)是必填字段。 Δ
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