射频电源是一种在射频区域（约3KHz至300GHz）内能产生一定频率、一定功率的正弦波电压的电源。

一种将射频信号有效传输到半导体制造设备的匹配装置。 它主要用于半导体制造厂。

阀门是控制流体介质的流量、方向、压力、温度等的机械装置。 真空阀是一种阀门，是安装在真空室内的真空元件。

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涡轮分子泵是一种真空泵，它使用高速旋转的叶轮为气体分子提供动量并为气体流动提供方向。

伺服电机是用于伺服机构中的电机，可以以非常精确的位置精度控制速度，并将电压信号转换为扭矩和速度以驱动受控对象。

半导体晶圆传送机器人用于在半导体制造设备内传送晶圆等。

质量流量控制器是具有流量控制功能的质量流量计（测量质量流量的流量计）。