BROOKS PRI ROBOT, 机器人

BROOKS PRI ROBOT

机器人

描述：半导体晶圆传送机器人用于在半导体制造设备内传送晶圆等。

ATM-105	ATM-407	PRE-300B
ATM-107	ABM-407	PRE-301
ATM-107B	ABM-407B	PRE-301B
WTM-107B	VAC-407-2A	ESC-100
WTM-107EGW	DBM-2406	EDC-2400
ATM-204	DBM-2407	EDC-2800
ATM-205	DBM-2706	ESC-200
ABM-205	WTM-511	ESC-201
ATM-207	PRE-200	ESC-204
ATM-305	PRE-200B	ESC-212
ATM-307	PRE-201	ESC-218
ATM-405	PRE-201B	ESC-222
ABM-405	PRE-300