CANON

机器人

描述:半导体晶圆传送机器人用于在半导体制造设备内传送晶圆等。

ES3L
ES3-Z
RETICLE ROBOT
ES4R
PA STAGE UNIT
TYPE X (WAFER THERMAL CONTROL)
ES3-X 
RELAY UNIT
WAFER FEED HAND UNIT